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GLFs-META系列飞秒加工系统,主要针对于光学超材料/超表面周期性微纳结构加工的设备,可配置空间光调制器进行整形,实现多光束并行加工,提高加工效率,结合大尺寸位移台可实现大尺寸光学器件的加工。该系统可用于光场调控器件,太赫兹波调制器件,等离激元,微透镜,折射元件,三维非线性光子晶体,光栅/达曼光栅等超材料或超表面器件的加工。